Ang ani sa chip sa industriya sa paggama og chip suod nga nalambigit sa gidak-on ug gidaghanon sa mga partikulo sa hangin nga nadeposito sa chip. Ang maayong pag-organisar sa pag-agos sa hangin makatangtang sa mga partikulo nga namugna gikan sa mga tinubdan sa abog gikan sa limpyo nga kwarto ug masiguro ang kalimpyo sa limpyo nga kwarto. Sa ato pa, ang pag-organisar sa pag-agos sa hangin sa limpyo nga kwarto adunay hinungdanon nga papel sa ani sa produksiyon sa chip. Ang mga tumong nga makab-ot sa disenyo sa pag-organisar sa pag-agos sa hangin sa limpyo nga kwarto mao ang: pagpakunhod o pagwagtang sa mga eddy current sa flow field aron malikayan ang pagpabilin sa makadaot nga mga partikulo; pagmintinar sa angay nga positibo nga gradient sa presyur aron malikayan ang cross-contamination.
Subay sa prinsipyo sa limpyo nga kwarto, ang mga pwersa nga naglihok sa mga partikulo naglakip sa kusog sa masa, kusog sa molekula, atraksyon tali sa mga partikulo, kusog sa pag-agos sa hangin, ug uban pa.
Kusog sa pag-agos sa hangin: nagtumong sa kusog sa pag-agos sa hangin nga gipahinabo sa suplay ug pagbalik sa hangin, thermal convection airflow, artipisyal nga pag-agulo, ug uban pang mga pag-agos sa hangin nga adunay usa ka piho nga rate sa pag-agos aron madala ang mga partikulo. Alang sa pagkontrol sa teknolohiya sa kalikopan sa limpyo nga kwarto, ang kusog sa pag-agos sa hangin mao ang labing hinungdanon nga hinungdan.
Gipakita sa mga eksperimento nga sa paglihok sa hangin, ang mga partikulo mosunod sa hangin sa halos parehas nga tulin. Ang kondisyon sa mga partikulo sa hangin gitino sa distribusyon sa hangin. Ang mga nag-unang epekto sa hangin sa mga partikulo sa sulod sa balay naglakip sa: hangin gikan sa suplay sa hangin (lakip ang panguna nga hangin ug sekondaryang hangin), hangin gikan sa suplay sa hangin ug thermal convection nga gipahinabo sa mga tawo nga naglakaw, ug ang epekto sa hangin gikan sa mga partikulo nga gipahinabo sa mga operasyon sa proseso ug kagamitan sa industriya. Ang lainlaing mga pamaagi sa suplay sa hangin, mga interface sa tulin, mga operator ug kagamitan sa industriya, mga panghitabo nga gipahinabo, ug uban pa sa mga limpyo nga kwarto tanan mga hinungdan nga makaapekto sa lebel sa kalimpyo.
1. Impluwensya sa pamaagi sa suplay sa hangin
(1) Katulin sa suplay sa hangin
Aron masiguro ang parehas nga pag-agos sa hangin, ang gikusgon sa suplay sa hangin sa unidirectional flow clean room kinahanglan nga parehas; ang dead zone sa ibabaw sa suplay sa hangin kinahanglan nga gamay; ug ang pressure drop sulod sa hepa filter kinahanglan usab nga parehas.
Ang gikusgon sa suplay sa hangin parehas: kana mao, ang dili patas nga pag-agos sa hangin gikontrol sulod sa ± 20%.
Mas gamay ang dead space sa ibabaw sa suplay sa hangin: dili lang kinahanglan nga pakunhuran ang plane area sa hepa frame, apan mas importante, ang modular FFU kinahanglan gamiton aron pasimplehon ang redundant frame.
Aron masiguro nga ang pag-agos sa hangin bertikal ug unidirectional, ang pagpili sa pressure drop sa filter importante usab kaayo, ug gikinahanglan nga ang pressure loss sulod sa filter dili mahimong biased.
(2) Pagtandi tali sa sistema sa FFU ug sistema sa axial flow fan
Ang FFU usa ka air supply unit nga adunay fan ug hepa filter. Ang hangin gisuyop sa centrifugal fan sa FFU ug gi-convert ang dynamic pressure ngadto sa static pressure sa air duct. Kini gipabuga nga parehas sa hepa filter. Ang air supply pressure sa kisame kay negative pressure. Niining paagiha walay abog nga mogawas sa clean room kung ilisan ang filter. Gipakita sa mga eksperimento nga ang FFU system mas maayo kaysa axial flow fan system sa termino sa air outlet uniformity, air flow parallelism ug ventilation efficiency index. Kini tungod kay mas maayo ang air flow parallelism sa FFU system. Ang paggamit sa FFU system makapauswag sa air flow organization sa clean room.
(3) Impluwensya sa kaugalingong istruktura sa FFU
Ang FFU kasagaran gilangkoban sa mga bentilador, mga filter, mga giya sa pag-agos sa hangin ug uban pang mga sangkap. Ang hepa filter mao ang labing importante nga garantiya alang sa limpyo nga kwarto aron makab-ot ang gikinahanglan nga kalimpyo nga gikinahanglan sa disenyo. Ang materyal sa filter makaapekto usab sa pagkaparehas sa flow field. Kung ang usa ka rough filter material o usa ka flow plate idugang sa filter outlet, ang outlet flow field dali nga mahimong parehas.
2. Epekto sa interface sa katulin nga adunay lainlaing kalimpyo
Sa samang limpyo nga kwarto, taliwala sa lugar nga gitrabahuan ug sa lugar nga wala gitrabahuan nga adunay bertikal nga unidirectional nga pag-agos, tungod sa kalainan sa katulin sa hangin sa hepa box, usa ka sinagol nga epekto sa vortex ang mahitabo sa interface, ug kini nga interface mahimong usa ka turbulent airflow zone. Ang kakusog sa turbulence sa hangin labi ka kusog, ug ang mga partikulo mahimong mapasa sa nawong sa makina sa kagamitan ug mahugawan ang kagamitan ug mga wafer.
3. Epekto sa mga kawani ug kagamitan
Kon walay sulod ang limpyo nga kwarto, ang kinaiya sa pag-agos sa hangin sa kwarto kasagaran makatuman sa mga kinahanglanon sa disenyo. Sa higayon nga ang kagamitan mosulod sa limpyo nga kwarto, ang mga tawo mobalhin, ug ang mga produkto madala, dili kalikayan nga adunay mga babag sa organisasyon sa pag-agos sa hangin, sama sa mga hait nga tumoy nga nagtuybo gikan sa makina sa kagamitan. Sa mga kanto o ngilit, ang gas mobalhin aron maporma ang usa ka turbulent flow area, ug ang pluwido sa lugar dili dali nga madala sa mosulod nga gas, sa ingon hinungdan sa polusyon.
Sa samang higayon, ang nawong sa mekanikal nga kagamitan moinit tungod sa padayon nga operasyon, ug ang gradient sa temperatura mopahinabog reflow area duol sa makina, nga mopadako sa pagtapok sa mga partikulo sa reflow area. Sa samang higayon, ang taas nga temperatura dali nga makapahawa sa mga partikulo. Ang doble nga epekto mopakusog sa kinatibuk-ang bertikal nga layer. Ang kalisud sa pagkontrol sa kalimpyo sa sapa. Ang abog gikan sa mga operator sa limpyo nga kwarto dali nga motapot sa mga wafer niining mga reflow area.
4. Impluwensya sa balik nga salog sa hangin
Kon lahi ang resistensya sa hangin nga moagi sa salog, mahitabo ang kalainan sa presyur, hinungdan nga ang hangin moagos sa direksyon sa gamay nga resistensya, ug dili makab-ot ang parehas nga pag-agos sa hangin. Ang kasamtangang popular nga pamaagi sa disenyo mao ang paggamit sa taas nga salog. Kon ang ratio sa pag-abli sa taas nga salog naa sa 10%, ang katulin sa pag-agos sa hangin mahimong parehas nga maapod-apod sa gitas-on sa trabahoan sa sulod. Dugang pa, kinahanglan nga hatagan ug estrikto nga atensyon ang trabaho sa pagpanglimpyo aron makunhuran ang tinubdan sa polusyon sa salog.
5. Panghitabo sa induksiyon
Ang gitawag nga induction phenomenon nagtumong sa phenomenon sa pagmugna og airflow sa atbang nga direksyon sa uniporme nga pag-agos, nga hinungdan sa abog nga mamugna sa kwarto o abog sa kasikbit nga kontaminado nga mga lugar sa kilid nga paatubang sa hangin, sa ingon hinungdan sa abog nga makahugaw sa wafer. Ang posibleng gipahinabo nga mga phenomenon naglakip sa mosunod:
(1) Buta nga plato
Sa usa ka limpyo nga kwarto nga adunay bertikal nga one-way flow, tungod sa mga lutahan sa dingding, kasagaran adunay dagkong mga blind panel nga mopatunghag turbulent flow ug local backflow.
(2) Mga Lampara
Ang mga suga sa limpyo nga kwarto adunay mas dakong epekto. Tungod kay ang kainit sa fluorescent lamp hinungdan sa pagsaka sa agos sa hangin, ang fluorescent lamp dili mahimong usa ka turbulent nga lugar. Kasagaran, ang mga lampara sa limpyo nga kwarto gidisenyo nga porma og teardrop aron makunhuran ang epekto sa mga lampara sa organisasyon sa agos sa hangin.
(3) Mga gintang tali sa mga bungbong
Kon adunay mga kal-ang tali sa mga partition wall o kisame nga adunay lain-laing mga kinahanglanon sa kalimpyo, ang abog gikan sa mga lugar nga ubos ang kinahanglanon sa kalimpyo mahimong mabalhin ngadto sa kasikbit nga mga lugar nga taas ang kinahanglanon sa kalimpyo.
(4) Ang gilay-on tali sa mekanikal nga kagamitan ug sa salog o bungbong
Kon gamay ra ang gintang tali sa mekanikal nga kagamitan ug sa salog o bungbong, mahitabo ang rebound turbulence. Busa, pagbilin og gintang tali sa kagamitan ug sa bungbong ug ipataas ang plataporma sa makina aron malikayan ang direktang pagdikit sa yuta.
Oras sa pag-post: Nob-02-2023