Ang CHIP nga ani sa industriya sa paghimo sa chip nga may kalabutan sa gidak-on ug gidaghanon sa mga partikulo sa hangin nga gideposito sa chip. Ang maayo nga pag-agos sa hangin sa hangin mahimong magkuha mga partikulo nga gihimo gikan sa mga gigikanan sa abug nga layo sa limpyo nga kwarto ug masiguro ang kahinlo sa kalimpyo. Kana mao, ang organisasyon sa hangin sa hangin sa paghinlo adunay hinungdanon nga papel sa ani sa produksiyon sa chip. Ang mga katuyoan nga makab-ot sa laraw sa limpyo nga pag-agos sa hangin sa hangin sa hangin mao ang: Aron makunhuran o makawagtang sa Eddy Currents sa flow flowment nga mga partikulo; Aron mahuptan ang usa ka angay nga positibo nga pagpit-os nga gradient aron mapugngan ang kontaminasyon sa krus.
Sumala sa limpyo nga pamatasan sa kwarto, ang mga pwersa nga naglihok sa mga partikulo naglakip sa kusog nga kusog, kusog nga molekular, atraksyon tali sa mga partikulo, kusog sa hangin, ug uban pa
Kusog sa Airflow: nagtumong sa kusog sa pag-agos sa hangin nga gipahinabo sa suplay ug pag-uli sa pag-agos sa eroplano, pag-agos sa thermal confection, artipisyal nga kasamok nga adunay usa ka piho nga rate sa pag-agos aron magdala mga partikulo. Alang sa limpyo nga kontrol sa teknolohiya sa kalikopan sa kwarto, ang kusog sa hangin mao ang labing hinungdanon nga hinungdan.
Gipakita sa mga eksperimento nga sa paglihok sa hangin, ang mga partikulo nagsunod sa pag-agos sa hangin sa hapit eksakto nga parehas nga tulin. Ang kahimtang sa mga partikulo sa hangin gitino sa pag-apod-apod sa hangin sa hangin. Ang mga nag-unang mga epekto sa pag-agos sa mga partikulo sa sulud naglakip sa: Air Supply Airflow (lakip ang Airflow Airflow ug Airflow Airflow), Airflow Airflow), Airflow Airflow), Airflow Airflow), Airflow Airflow), Airflow Airflow), Airflow Airflow), Airflow Airflows Ang lainlaing mga pamaagi sa suplay sa hangin, mga interface sa speed, operator ug kagamitan sa industriya, nagpahinabo sa mga panghitabo, ug uban pa sa mga kalimpyo nga nakaapekto sa lebel sa kalimpyo.
1. Impluwensya sa Paagi sa Pag-supply sa Air Supply
(1) katulin sa suplay sa hangin
Aron masiguro ang managsama nga pag-agos sa hangin, ang katulin sa suplay sa hangin sa dili-adidirectional flow nga limpyo nga lawak kinahanglan uniporme; Ang Dead Zone sa ibabaw sa hangin nga suplay sa hangin kinahanglan gamay; Ug ang pagtulo sa presyur sa sulod sa pagsala sa HEPA kinahanglan usab nga managsama.
Ang katulin sa suplay sa hangin mao ang uniporme: sa ato pa, ang pagkawalay kasayuran sa pag-agos sa hangin kontrolado sa sulod sa ± 20%.
Adunay dili kaayo patay nga wanang sa kahanginan sa kahanginan
Aron masiguro nga ang pag-agos sa hangin patindog ug unidirectional, ang pagpili sa pagpugos sa pagpit-os hinungdanon usab, ug gikinahanglan nga ang pagkawala sa presyur sa sulud dili mahimong bias.
(2) pagtandi tali sa sistema sa FFU ug Axial Flow System
Ang FFU usa ka yunit sa suplay sa hangin nga adunay usa ka fan ug hePa nga pagsala. Ang hangin gisul-ob sa sentripugal nga fan sa FFU ug gibag-o ang dinamikong presyur sa static pressure sa Air Duct. Kini gipadpad sa parehas sa HEPA nga pagsala. Ang pressure sa suplay sa hangin sa kisame negatibo nga presyur. Niining paagiha wala'y abog ang pagtulo sa limpyo nga kwarto kung gi-ilis ang filter. Gipakita sa mga eksperimento nga ang sistema sa FFU labaw sa axial fan compy system sa mga termino sa pag-agay sa hangin sa hangin ug pag-agay sa hangin. Kini tungod kay ang pag-agos sa hangin sa kahanginan sa sistema sa FFU mas maayo. Ang paggamit sa sistema sa FFU makapalambo sa hangin sa hangin sa hangin sa limpyo nga kwarto.
(3) impluwensya sa kaugalingon nga istruktura sa FFU
Ang FFU nag-una nga gilangkuban sa mga fans, filter, air flow guides ug uban pang mga sangkap. Ang filter sa HEPA mao ang labing hinungdanon nga garantiya alang sa limpyo nga lawak aron makab-ot ang gikinahanglan nga kalimpyo nga gikinahanglan sa disenyo. Ang materyal sa filter makaapekto usab sa pagkakapareho sa umahan. Kung ang usa ka kasarangan nga materyal nga filter o usa ka flow plate gidugang sa filter outlet, ang natad sa outlet flow dali nga mahimo nga uniporme.
2. epekto sa speed interface nga adunay lainlaing kalimpyo
Sa parehas nga limpyo nga kwarto, tali sa nagtrabaho nga lugar ug ang lugar nga dili pagtrabaho nga wala'y mahimo nga flow sa hangin, tungod sa kalainan sa kusog sa hangin, ang usa ka managsama nga epekto sa vortex mahitabo sa interface, ug kini nga interface mahimong usa ka gubot airflow zone. Ang kabaskog sa kagubot sa kahanginan labi ka lig-on, ug ang mga partikulo mahimo nga ipadala sa nawong sa makina sa kagamitan ug kontaminado ang mga kagamitan ug wafers.
3. epekto sa kawani ug kagamitan
Kung ang limpyo nga lawak walay sulod, ang mga kinaiya sa hangin sa hangin sa sulud sa kadaghanan nagtuman sa mga kinahanglanon sa disenyo. Sa higayon nga ang mga kagamitan mosulod sa paglimpyo, ang mga tawo mobalhin, ug ang mga produkto gidala, adunay dili malikayan nga mga babag sa organisasyon sa hangin sa hangin, sama sa mahait nga mga puntos nga nagpalihok gikan sa makina sa kagamitan. Sa mga eskina o sulab, ang gas maglikay nga mahimong usa ka gubot nga lugar sa pag-agos, ug ang pluwido sa lugar dili dali madala sa umaabot nga gas, sa ingon hinungdan sa polusyon.
Sa parehas nga oras, ang nawong sa mekanikal nga kagamitan pagainit tungod sa padayon nga operasyon, ug ang gradient sa temperatura nga hinungdan sa usa ka lugar nga reflow nga duol sa makina, nga nagdugang sa pagtipon sa mga partikulo sa lugar nga Reflow. Sa parehas nga oras, ang taas nga temperatura dali nga makapahinabo sa mga partikulo nga makaikyas. Ang epekto sa doble gipakusog ang kinatibuk-ang patindog nga layer. Ang kalisud sa pagpugong sa kalimpyo sa sapa. Ang mga abog gikan sa mga operator sa limpyo nga kwarto dali nga magsunod sa mga wafer sa mga lugar nga nagdumili.
4. Impluwensya sa Pagbalik sa Air Floor
Kung ang pagbatok sa pagbalik sa hangin sa hangin nga nag-agi sa salog lainlain, ang kalainan sa presyur mahitabo, hinungdan sa pag-agos sa hangin sa gamay nga pagsukol, ug uniporme nga pag-agos sa hangin nga dili makuha. Ang kasamtangang sikat nga pamaagi sa disenyo mao ang paggamit sa usa ka taas nga salog. Sa diha nga ang pag-abli nga ratio sa taas nga salog sa 10%, ang katulin sa hangin sa hangin mahimong parehas nga gipang-apod-apod sa taas nga pagtrabaho sa sulud. Dugang pa, ang hugot nga pagtagad kinahanglan ibayad sa paghinlo sa trabaho aron makunhuran ang gigikanan sa polusyon sa salog.
5. Induction Phenomenon
Ang gitawag nga induction nga impluwensya nagtumong sa panghitabo sa pagpadagan sa hangin sa kaatbang nga direksyon sa unipong mga lugar sa pag-undang sa pag-undang sa pag-undang, sa ingon gipahinabo ang abog nga nahugawan ang wafer. Posible nga mga hitabo nga naalam naglakip sa mga musunud:
(1) Bulag nga Plate
Sa usa ka limpyo nga lawak nga adunay patayo nga agianan sa usa ka paagi, tungod sa mga lutahan sa dingding, adunay kasagaran nga dagko nga mga panel nga buta nga makaguba sa pag-agos ug lokal nga backflow.
(2) mga suga
Ang mga suga sa suga sa limpyo nga kwarto adunay mas dako nga epekto. Sanglit ang kainit sa lampara sa fluorescent hinungdan sa pagtaas sa hangin, ang lampara sa fluorescent dili mahimong usa ka gubot nga lugar. Kasagaran, ang mga suga sa limpyo nga kwarto gidisenyo sa usa ka porma sa teardrop aron makunhuran ang epekto sa mga suga sa organisasyon sa airflow.
(3) mga gaps sa taliwala sa mga dingding
Kung adunay mga gaps tali sa mga dingding sa partisyon o kisame nga adunay lainlaing mga kinahanglanon sa paghinlo, ang abog gikan sa mga lugar nga adunay mga kinahanglan nga kalimpyo nga adunay mga kinahanglanon nga kalimpyo.
(4) ang gilay-on tali sa mekanikal nga kagamitan ug salog o dingding
Kung ang gintang tali sa mekanikal nga kagamitan ug ang salog o dingding gamay, ang rebound nga kagubot nga mahitabo. Busa, ibilin ang usa ka gintang tali sa kagamitan ug sa dingding ug ipataas ang plataporma sa makina aron malikayan ang direkta nga pagkontak sa yuta.
Post Oras: Nov-02-2023