Ang ani sa chip sa industriya sa paghimo sa chip suod nga may kalabotan sa gidak-on ug gidaghanon sa mga partikulo sa hangin nga nadeposito sa chip. Ang maayo nga organisasyon sa pag-agos sa hangin mahimong makuha ang mga partikulo nga namugna gikan sa mga gigikanan sa abog gikan sa limpyo nga kwarto ug masiguro ang kalimpyo sa limpyo nga kwarto. Sa ato pa, ang organisasyon sa pag-agos sa hangin sa limpyo nga kwarto adunay hinungdanon nga papel sa ani sa produksiyon sa chip. Ang mga tumong nga makab-ot sa desinyo sa limpyo nga lawak nga organisasyon sa pag-agos sa hangin mao ang: pagpakunhod o pagwagtang sa mga eddy nga sulog sa agianan aron malikayan ang pagpabilin sa makadaot nga mga partikulo; aron mapadayon ang usa ka angay nga positibo nga gradient sa presyur aron malikayan ang kontaminasyon sa krus.
Sumala sa prinsipyo sa limpyo nga lawak, ang mga pwersa nga naglihok sa mga partikulo naglakip sa pwersa sa masa, puwersa sa molekula, atraksyon tali sa mga partikulo, pwersa sa pag-agos sa hangin, ug uban pa.
Puwersa sa pag-agos sa hangin: nagtumong sa puwersa sa pag-agos sa hangin tungod sa suplay ug pagbalik sa pag-agos sa hangin, thermal convection airflow, artificial agitation, ug uban pang airflows nga adunay piho nga flow rate nga magdala sa mga partikulo. Alang sa pagkontrol sa teknolohiya sa kalikopan sa limpyo nga kwarto, ang puwersa sa pag-agos sa hangin mao ang labing hinungdanon nga hinungdan.
Gipakita sa mga eksperimento nga sa paglihok sa hangin, ang mga partikulo nagsunod sa pag-agos sa hangin sa halos parehas nga katulin. Ang kahimtang sa mga partikulo sa hangin gitino pinaagi sa pag-apod-apod sa airflow. Ang mga nag-unang epekto sa airflow sa sulod nga mga partikulo naglakip sa: air supply airflow (lakip ang primary airflow ug secondary airflow), airflow ug thermal convection airflow nga gipahinabo sa mga tawo nga naglakaw, ug ang epekto sa airflow sa mga partikulo nga gipahinabo sa mga operasyon sa proseso ug mga kagamitan sa industriya. Ang lainlaing mga pamaagi sa suplay sa hangin, mga interface sa tulin, mga operator ug kagamitan sa industriya, naaghat nga mga panghitabo, ug uban pa sa mga limpyo nga kwarto tanan nga mga hinungdan nga nakaapekto sa lebel sa kalimpyo.
1. Impluwensya sa paagi sa suplay sa hangin
(1) Katulin sa suplay sa hangin
Aron masiguro ang uniporme nga pag-agos sa hangin, ang katulin sa suplay sa hangin sa unidirectional flow limpyo nga kwarto kinahanglan nga managsama; ang patay nga sona sa ibabaw sa suplay sa hangin kinahanglan nga gamay; ug ang pressure drop sulod sa hepa filter kinahanglan usab nga uniporme.
Ang katulin sa suplay sa hangin managsama: nga mao, ang dili patas nga pag-agos sa hangin gikontrol sa sulod sa ± 20%.
Adunay gamay nga patay nga wanang sa sulud sa suplay sa hangin: dili lamang ang lugar sa eroplano sa frame sa hepa kinahanglan nga makunhuran, apan labi ka hinungdanon, ang modular nga FFU kinahanglan gamiton aron mapasimple ang sobra nga bayanan.
Aron masiguro nga ang pag-agos sa hangin bertikal ug unidirectional, ang pagpili sa pressure drop sa filter hinungdanon usab, ug gikinahanglan nga ang pagkawala sa presyur sa sulod sa filter dili mahimong bias.
(2) Pagtandi tali sa FFU system ug axial flow fan system
Ang FFU kay usa ka air supply unit nga adunay fan ug hepa filter. Ang hangin gisuyop sa centrifugal fan sa FFU ug gi-convert ang dinamikong presyur ngadto sa static pressure sa air duct. Gihuyop kini parehas sa hepa filter. Ang presyur sa suplay sa hangin sa kisame negatibo nga presyur. Niining paagiha walay abog nga mogawas sa limpyo nga lawak kung ilisan ang filter. Gipakita sa mga eksperimento nga ang sistema sa FFU mas labaw sa axial flow fan system sa termino sa air outlet uniformity, air flow parallelism ug ventilation efficiency index. Kini tungod kay ang air flow parallelism sa FFU system mas maayo. Ang paggamit sa sistema sa FFU makapauswag sa organisasyon sa pag-agos sa hangin sa limpyo nga kwarto.
(3) Impluwensya sa kaugalingong istruktura sa FFU
Ang FFU nag-una nga gilangkoban sa mga fan, mga filter, mga giya sa pag-agos sa hangin ug uban pang mga sangkap. Ang hepa filter mao ang labing importante nga garantiya alang sa limpyo nga lawak aron makab-ot ang gikinahanglan nga kalimpyo nga gikinahanglan sa disenyo. Ang materyal sa filter makaapekto usab sa pagkaparehas sa uma sa dagan. Sa diha nga ang usa ka bagis nga filter nga materyal o usa ka flow plate idugang sa filter outlet, ang outlet flow field mahimong dali nga himoon nga uniporme.
2. Epekto sa speed interface uban sa lain-laing mga kalimpyo
Sa parehas nga limpyo nga kwarto, taliwala sa lugar nga nagtrabaho ug sa dili nagtrabaho nga lugar nga adunay bertikal nga unidirectional nga pag-agos, tungod sa kalainan sa katulin sa hangin sa kahon sa hepa, usa ka nagkasagol nga epekto sa vortex ang mahitabo sa interface, ug kini nga interface mahimong usa ka gubot. airflow zone. Ang kakusog sa turbulence sa hangin labi ka kusog, ug ang mga partikulo mahimong mapasa sa nawong sa makina sa kagamitan ug mahugawan ang kagamitan ug mga wafer.
3. Epekto sa mga kawani ug kagamitan
Kung ang limpyo nga kwarto walay sulod, ang mga kinaiya sa pag-agos sa hangin sa kwarto sa kasagaran nagtagbo sa mga kinahanglanon sa disenyo. Sa diha nga ang mga ekipo mosulod sa limpyo nga lawak, ang mga tawo molihok, ug ang mga produkto madala, adunay dili kalikayan nga mga babag sa organisasyon sa pag-agos sa hangin, sama sa mga hait nga punto nga nagtuybo gikan sa makina sa kagamitan. Sa mga eskina o mga ngilit, ang gas motipas aron maporma ang usa ka gubot nga agianan sa agianan, ug ang pluwido sa lugar dili dali madala sa umaabot nga gas, sa ingon hinungdan sa polusyon.
Sa samang higayon, ang nawong sa mekanikal nga ekipo mapainit tungod sa padayon nga operasyon, ug ang gradient sa temperatura maoy hinungdan sa usa ka reflow area duol sa makina, nga nagdugang sa pagtipon sa mga partikulo sa reflow area. Sa parehas nga oras, ang taas nga temperatura dali nga hinungdan sa pag-ikyas sa mga partikulo. Ang doble nga epekto nagpakusog sa kinatibuk-ang bertikal nga layer. Ang kalisud sa pagpugong sa kalimpyo sa sapa. Ang abog gikan sa mga operator sa limpyo nga kwarto dali nga motapot sa mga wafer niining mga lugar nga reflow.
4. Impluwensya sa pagbalik sa salog sa hangin
Kung ang pagsukol sa pagbalik sa hangin nga moagi sa salog lahi, ang kalainan sa presyur mahitabo, hinungdan nga ang hangin modagayday sa direksyon sa gamay nga pagsukol, ug ang uniporme nga pag-agos sa hangin dili makuha. Ang karon nga popular nga pamaagi sa disenyo mao ang paggamit sa taas nga salog. Kung ang pag-abli nga ratio sa taas nga salog naa sa 10%, ang tulin sa pag-agos sa hangin mahimong parehas nga ipang-apod-apod sa taas nga pagtrabaho sa sulud. Dugang pa, ang higpit nga pagtagad kinahanglan ibayad sa paglimpyo sa trabaho aron makunhuran ang gigikanan sa polusyon sa salog.
5. Induction phenomenon
Ang gitawag nga induction phenomenon nagtumong sa panghitabo sa pagmugna sa airflow sa atbang nga direksyon sa uniporme nga pag-agos, pag-aghat sa abug nga namugna sa kwarto o abog sa kasikbit nga kontaminado nga mga lugar ngadto sa upwind nga bahin, sa ingon hinungdan nga ang abug makahugaw sa wafer. Ang posibleng hinungdan nga mga panghitabo naglakip sa mosunod:
(1) Blind plate
Sa usa ka limpyo nga lawak nga adunay bertikal nga one-way nga pag-agos, tungod sa mga lutahan sa bungbong, sa kasagaran adunay dagkong mga blind panel nga makahimo og gubot nga pag-agos ug lokal nga backflow.
(2) Mga lampara
Ang mga suga sa limpyo nga kwarto adunay mas dako nga epekto. Tungod kay ang kainit sa fluorescent lamp hinungdan sa pag-agos sa hangin, ang fluorescent lamp dili mahimong usa ka gubot nga lugar. Kasagaran, ang mga lampara sa limpyo nga lawak gidisenyo sa usa ka teardrop nga porma aron makunhuran ang epekto sa mga lampara sa airflow nga organisasyon.
(3) Mga kal-ang tali sa mga bungbong
Kung adunay mga kal-ang tali sa mga dingding sa partisyon o kisame nga adunay lainlaing mga kinahanglanon sa kalimpyo, ang abog gikan sa mga lugar nga adunay ubos nga mga kinahanglanon sa kalimpyo mahimong ibalhin sa kasikbit nga mga lugar nga adunay taas nga mga kinahanglanon sa kalimpyo.
(4) Ang gilay-on tali sa mekanikal nga kagamitan ug sa salog o bungbong
Kung ang gintang tali sa mekanikal nga kagamitan ug sa salog o bungbong gamay ra, ang rebound turbulence mahitabo. Busa, biyai ang usa ka gintang tali sa mga ekipo ug sa bungbong ug ipataas ang plataporma sa makina aron malikayan ang direktang kontak sa yuta.
Oras sa pag-post: Nob-02-2023