Ang rate sa chip ani sa industriya sa IC manufacturing nga may kalabutan sa gidak-on ug gidaghanon sa mga partikulo sa hangin nga gideposito sa chip. Ang usa ka maayo nga organisasyon sa eroplano mahimong makuha ang mga partikulo nga gihimo sa gigikanan sa abug nga layo sa limpyo nga kwarto aron masiguro ang kalimpyo sa limpyo nga lawak sa pag-ani sa pag-ani sa paggama sa IC sa paghimo sa produksiyon sa ic prate sa paghimo sa produksiyon sa pag-ani sa pag-ani sa pag-ani sa pag-ani sa pag-ani sa pag-ani sa pag-ani sa pag-ani sa pag-ani sa pag-ani sa pag-ani sa pag-ani sa pag-ani sa pag-ani sa pag-ani sa pag-ani sa pag-ani sa pag-ani sa pag-ani sa pag-ani sa pag-ani sa paggama sa ic. Ang laraw sa airflow organization sa limpyo nga kwarto kinahanglan nga makab-ot ang mosunud nga mga katuyoan: pagkunhod o pagwagtang sa Eddy Current sa pagpandurot sa mga makadaot nga mga partikulo; Hupti ang usa ka angay nga positibo nga pagpit-os nga gradient aron mapugngan ang kontaminasyon sa krus.
Kusog sa Airflow
Sumala sa hinlo nga baruganan sa kwarto, ang mga pwersa nga naglihok sa mga partikulo naglakip sa kusog nga kusog, kusog nga molekular, atraksyon tali sa mga partikulo, kusog sa hangin, ug uban pa.
Airflow force: refers to the force of the airflow caused by the delivery, return airflow, thermal convection airflow, artificial stirring, and other airflows with a certain flow rate to carry the particles. Alang sa teknikal nga pagkontrol sa limpyo nga palibot sa kwarto, ang kusog sa hangin mao ang labing hinungdanon nga hinungdan.
Gipakita sa mga eksperimento nga sa kalihukan sa hangin, ang mga partikulo nagsunod sa kalihukan sa hangin sa hapit parehas nga tulin. Ang estado sa mga partikulo sa hangin gitino sa pag-apod-apod sa hangin sa hangin. Ang mga airflows nga nakaapekto sa mga partikulo sa sulud sa sulud gilakip sa Air Airflow (lakip ang panguna nga airflow ug pag-ayad sa pag-agos sa hangin ug pag-ayad sa operasyon sa operasyon ug kagamitan sa industriya. Ang lainlaing mga pamaagi sa suplay sa hangin, mga interface sa speed, operator ug kagamitan sa industriya, ug gipahingangha nga mga hitabo sa limpyo nga lebel sa kalimpyo.
Ang mga hinungdan nga nakaapekto sa organisasyon sa airflow
1. Ang impluwensya sa pamaagi sa suplay sa hangin
(1). Katulin sa suplay sa hangin
Aron masiguro ang managsama nga pag-agos sa hangin, ang katulin sa suplay sa hangin kinahanglan nga uniporme sa usa ka dili tinuud nga limpyo nga lawak; Ang patay nga sona sa kahanginan sa kahanginan sa kahanginan kinahanglan gamay; Ug ang pag-ihap sa presyur sa ULPA kinahanglan usab nga managsama.
Uniporme nga katulin sa suplay sa hangin: kana mao, ang pagkadili sukwahi sa kahanginan kontrolado sa sulod sa ± 20%.
Dili kaayo Dead Zone sa Air Supply Suppress: Dili lamang ang lugar sa eroplano sa frame sa ULPA, apan labi ka hinungdanon, ang modular FFU kinahanglan nga gamiton aron mapagaan ang labi nga bayanan.
Aron masiguro ang bertikal nga unidirectional Airflow, ang pagpili sa pagpugos sa pagpahimutang sa filter hinungdanon usab, nga nanginahanglan nga ang pagkawala sa presyur dili mahilayo.
(2). Pagtandi tali sa sistema sa FFU ug Axial Flow System
Ang FFU usa ka yunit sa suplay sa hangin nga adunay usa ka fan ug usa ka filter (ULPA). Pagkahuman sa hangin nga gisul-ob sa Centrifugal Fan sa FFU, ang dinamikong presyur nga nakabig sa static pressure sa hangin duct ug gipadpad sa UlPA. Ang presyur sa suplay sa hangin sa kisame negatibo nga presyur, aron walay abug ang motulo sa limpyo nga kwarto kung gipulihan ang filter. Gipakita sa mga eksperimento nga ang sistema sa FFU labaw sa axial fan system sa fan sa mga termino sa pag-uniporme sa outlet sa hangin ug pag-airflow carcelelismo ug ventilation Kini tungod kay ang airflow nga managsama nga sistema sa sistema sa FFU labi ka maayo. Ang paggamit sa sistema sa FFU makahimo sa pag-agos sa hangin sa limpyo nga kwarto nga mas maayo nga naorganisar.
(3). Ang impluwensya sa kaugalingon nga istruktura sa FFU
Ang FFU nag-una nga gilangkuban sa mga fans, filter, airflow giya nga mga aparato ug uban pang mga sangkap. Ang Ultra-High Efficiency Filter Ulpa mao ang labing hinungdanon nga garantiya kung ang limpyo nga kwarto makab-ot ang gikinahanglan nga kalimpyo sa disenyo. Ang materyal sa filter makaapekto usab sa pagkakapareho sa umahan. Kung ang usa ka baga nga materyal sa filter o usa ka Laarar Flow Plate gidugang sa filter outlet, ang natad sa outlet flow dali nga mahimo nga uniporme.
2. epekto sa lainlaing mga interface sa speed sa kalimpyo
Sa parehas nga limpyo nga kwarto, tali sa nagtrabaho nga lugar ug dili pagtrabaho nga lugar sa patindog nga unidirectional flow, tungod sa kalainan sa kusog sa hangin sa interface nga epekto sa interface, ug kini nga interface mahimong usa ka gubot air flow zone nga adunay labi ka taas nga kagubot sa hangin. Ang mga partikulo mahimo nga ipadala sa sulud sa kagamitan ug kontaminado ang mga kagamitan ug wafer.
3. epekto sa mga kawani ug kagamitan
Kung wala'y sulod ang limpyo nga kwarto, ang mga kinaiya sa hangin sa hangin sa kwarto sa kadaghanan nagtubag sa mga kinahanglanon sa disenyo. Sa higayon nga ang mga ekipo mosulod sa limpyo nga kwarto, ang mga kawani nga paglihok ug mga produkto gipasa, adunay dili malikayan nga mga babag sa organisasyon sa hangin sa hangin. Pananglitan, sa mga nag-agay nga mga kanto o sulab sa kagamitan, ang gas ibalhin aron maporma ang usa ka gubot nga lugar, ug ang pluwido sa lugar dili dali madala sa gas, sa ingon hinungdan sa polusyon. Sa parehas nga oras, ang nawong sa mga kagamitan magpainit tungod sa padayon nga operasyon, ug ang gradient sa temperatura nga hinungdan sa usa ka reflow zone duol sa makina, nga magadugang sa pagtigum sa mga partikulo sa Reflow Zone. Sa parehas nga oras, ang taas nga temperatura dali nga makapahinabo sa mga partikulo nga makaikyas. Ang dual nga epekto nagpalala sa kalisud sa pagkontrol sa kinatibuk-ang limpyo nga kalimpyo sa laminarar. Ang abug gikan sa mga operator sa limpyo nga lawak dali ra nga sundon ang mga wafer sa mga roflow nga mga zone.
4. Impluwensya sa Pagbalik sa Air Floor
Kung ang pagbatok sa pagbalik sa hangin sa pag-agi sa salog lainlain, usa ka kalainan sa presyur ang makamugna, aron ang hangin modagayday sa dili kaayo nga pagsukol, ug uniporme nga pag-agos sa hangin nga dili makuha. Ang kasamtangan nga Pinaugalingon nga Paagi sa Design Design mao ang paggamit sa taas nga mga andana. Kung ang pag-abli sa rate sa mga taas nga salog mao ang 10%, ang kusog sa hangin sa gitas-on sa taas nga kwarto mahimong parehas nga ipanghatag parehas. Dugang pa, ang higpit nga pagtagad kinahanglan ibayad sa paghinlo sa trabaho aron makunhuran ang gigikanan sa polusyon sa salog.
5. Induction Phenomenon
Ang gitawag nga induksiyon nga impluwensya nagtumong sa panghitabo nga gihimo sa pag-agos sa kaatbang nga direksyon sa uniporme o abug sa kasikbit nga bahin, aron ang abug mahimong kontaminado ang chip. Ang mosunud mao ang posible nga mga panghitabo sa induction:
(1). Bulag nga Plate
Sa usa ka limpyo nga kwarto nga adunay patayo nga unidirectional flow, tungod sa mga lutahan sa dingding, adunay daghang dagko nga mga blind plate nga makahatag sa kagubot sa lokal nga pag-agos.
(2). Suga
Ang mga suga sa suga sa limpyo nga kwarto adunay mas dako nga epekto. Sanglit ang kainit sa mga lampara sa fluorescent hinungdan sa pagtaas sa hangin, wala'y gubot nga lugar sa ilawom sa mga lampara sa fluorescent. Kasagaran, ang mga suga sa limpyo nga kwarto gidisenyo sa usa ka porma sa Teardrop aron makunhuran ang epekto sa mga suga sa organisasyon sa eroplano.
(3.) mga gaps sa taliwala sa mga dingding
Kung adunay mga gaps tali sa mga partisyon nga adunay lainlaing lebel sa paghinlo o tali sa mga pagbulag ug mga kisame, ang abug gikan sa lugar nga adunay mga kinahanglanon nga kalimpyo nga adunay mga kinahanglanon sa kalimpyo.
(4). Distansya tali sa makina ug salog o dingding
Kung ang gintang tali sa makina ug salog o dingding gamay ra, kini hinungdan sa rebound nga kagubot. Busa, ibilin ang usa ka gintang tali sa mga ekipo ug sa bungbong ug ipataas ang makina aron malikayan nga itago sa makina ang makina.
Post Oras: Peb-05-2025