Ang rate sa ani sa chip sa industriya sa paggama sa IC suod nga may kalabotan sa gidak-on ug gidaghanon sa mga partikulo sa hangin nga nadeposito sa chip. Ang usa ka maayo nga organisasyon sa airflow mahimong makuha ang mga partikulo nga namugna sa gigikanan sa abog gikan sa limpyo nga kwarto aron masiguro ang kalimpyo sa limpyo nga kwarto, nga mao, ang organisasyon sa airflow sa limpyo nga kwarto adunay hinungdanon nga papel sa rate sa ani sa produksiyon sa IC. Ang disenyo sa airflow nga organisasyon sa limpyo nga lawak kinahanglan nga makab-ot ang mosunod nga mga tumong: pagpakunhod o pagwagtang sa eddy nga kasamtangan sa agianan sa uma aron malikayan ang pagpabilin sa makadaot nga mga partikulo; pagpadayon sa usa ka angay nga positibo nga gradient sa presyur aron malikayan ang kontaminasyon sa krus.
Puwersa sa pag-agos sa hangin
Sumala sa prinsipyo sa limpyo nga lawak, ang mga pwersa nga naglihok sa mga partikulo naglakip sa mass force, molekular nga pwersa, atraksyon tali sa mga partikulo, airflow force, ug uban pa.
Ang puwersa sa pag-agos sa hangin: nagtumong sa puwersa sa pag-agos sa hangin nga gipahinabo sa paghatod, pagbalik sa pag-agos sa hangin, pag-agos sa hangin sa thermal convection, artipisyal nga pagkutaw, ug uban pang mga pag-agos sa hangin nga adunay piho nga rate sa pag-agos aron madala ang mga partikulo. Alang sa teknikal nga pagkontrol sa limpyo nga palibot sa kwarto, ang puwersa sa airflow mao ang labing hinungdanon nga hinungdan.
Gipakita sa mga eksperimento nga sa paglihok sa hangin, ang mga partikulo nagsunod sa paglihok sa airflow sa halos parehas nga katulin. Ang kahimtang sa mga partikulo sa hangin gitino pinaagi sa pag-apod-apod sa airflow. Ang mga pag-agos sa hangin nga makaapekto sa mga partikulo sa sulud nag-una naglakip sa: air supply airflow (lakip ang panguna nga airflow ug secondary airflow), airflow ug thermal convection airflow nga gipahinabo sa mga tawo nga naglakaw, ug ang airflow nga gipahinabo sa proseso sa operasyon ug mga kagamitan sa industriya. Ang lainlaing mga pamaagi sa pagsuplay sa hangin, mga interface sa tulin, mga operator ug kagamitan sa industriya, ug mga hinungdan nga panghitabo sa limpyo nga mga kwarto tanan nga mga hinungdan nga nakaapekto sa lebel sa kalimpyo.
Mga hinungdan nga nakaapekto sa organisasyon sa airflow
1. Ang impluwensya sa pamaagi sa suplay sa hangin
(1). Katulin sa suplay sa hangin
Aron masiguro ang managsama nga pag-agos sa hangin, ang katulin sa suplay sa hangin kinahanglan parehas sa usa ka unidirectional nga limpyo nga kwarto; ang patay nga sona sa nawong sa suplay sa hangin kinahanglan nga gamay; ug ang pressure drop sa ULPA kinahanglan usab nga uniporme.
Uniform nga katulin sa suplay sa hangin: nga mao, ang dili patas nga pag-agos sa hangin gikontrol sa sulod sa ± 20%.
Dili kaayo patay nga sona sa ibabaw sa suplay sa hangin: dili lamang ang lugar sa eroplano sa frame sa ULPA kinahanglan nga mapakunhod, apan labi ka hinungdanon, ang modular nga FFU kinahanglan nga gisagop aron mapasimple ang sobra nga bayanan.
Aron masiguro ang bertikal unidirectional airflow, ang pagpili sa pressure drop sa filter hinungdanon usab, nga kinahanglan nga ang pagkawala sa presyur sa filter dili motipas.
(2). Pagtandi tali sa FFU system ug axial flow fan system
Ang FFU kay usa ka air supply unit nga adunay fan ug filter (ULPA). Human masuyop ang hangin sa centrifugal fan sa FFU, ang dinamikong presyur makabig ngadto sa static pressure sa air duct ug parehas nga gihuyop sa ULPA. Ang presyur sa suplay sa hangin sa kisame negatibo nga presyur, aron walay abug nga mogawas sa limpyo nga kwarto kung ang filter gipulihan. Gipakita sa mga eksperimento nga ang sistema sa FFU mas labaw sa axial flow fan system sa termino sa air outlet uniformity, airflow parallelism ug ventilation efficiency index. Kini tungod kay ang airflow parallelism sa FFU system mas maayo. Ang paggamit sa sistema sa FFU makahimo sa pag-agos sa hangin sa limpyo nga lawak nga mas organisado.
(3). Ang impluwensya sa kaugalingon nga istruktura sa FFU
Ang FFU nag-una nga gilangkuban sa mga fan, mga filter, mga aparato nga giya sa airflow ug uban pang mga sangkap. Ang ultra-high efficiency filter nga ULPA mao ang labing importante nga garantiya kung ang limpyo nga lawak makakab-ot sa gikinahanglan nga kalimpyo sa disenyo. Ang materyal sa filter makaapekto usab sa pagkaparehas sa uma sa dagan. Sa diha nga ang usa ka coarse filter nga materyal o usa ka laminar flow plate idugang sa filter outlet, ang outlet flow field mahimong dali nga mahimong uniporme.
2. Epekto sa lain-laing speed interface sa kalimpyo
Sa samang limpyo nga lawak, tali sa working area ug non-working area nga vertical unidirectional flow, tungod sa kalainan sa air speed sa ULPA outlet, usa ka mixed vortex effect ang mamugna sa interface, ug kini nga interface mahimong usa ka turbulent air flow zone nga adunay partikular nga taas nga air turbulence intensity. Ang mga partikulo mahimong mapasa sa ibabaw sa kagamitan ug makahugaw sa kagamitan ug mga wafer.
3. Epekto sa mga kawani ug kagamitan
Kung ang limpyo nga kwarto walay sulod, ang mga kinaiya sa pag-agos sa hangin sa kwarto sa kasagaran makatagbo sa mga kinahanglanon sa disenyo. Sa higayon nga ang mga ekipo mosulod sa limpyo nga lawak, ang mga personahe molihok ug ang mga produkto ipadala, dili kalikayan nga adunay mga babag sa organisasyon sa pag-agos sa hangin. Pananglitan, sa mga nagtuybo nga mga eskina o mga ngilit sa mga ekipo, ang gas ibalhin aron mahimong usa ka gubot nga sona, ug ang likido sa sona dili dali madala sa gas, sa ingon hinungdan sa polusyon. Sa samang higayon, ang ibabaw sa mga ekipo magpainit tungod sa padayon nga operasyon, ug ang temperatura gradient hinungdan sa usa ka reflow zone duol sa makina, nga makadugang sa akumulasyon sa mga partikulo sa reflow zone. Sa parehas nga oras, ang taas nga temperatura dali nga hinungdan sa pag-ikyas sa mga partikulo. Ang doble nga epekto nagpasamot sa kalisud sa pagpugong sa kinatibuk-ang bertikal nga laminar nga kalimpyo. Ang abog gikan sa mga operator sa limpyo nga lawak sayon kaayo nga masunod sa mga wafer niining mga reflow zone.
4. Impluwensya sa pagbalik sa salog sa hangin
Kung ang pagsukol sa pagbalik sa hangin nga moagi sa salog lahi, usa ka kalainan sa presyur ang mabuhat, aron ang hangin modagayday sa direksyon nga dili kaayo pagsukol, ug ang uniporme nga pag-agos sa hangin dili makuha. Ang karon nga popular nga pamaagi sa disenyo mao ang paggamit sa taas nga salog. Kung ang rate sa pag-abli sa taas nga mga salog 10%, ang tulin sa pag-agos sa hangin sa gitas-on sa pagtrabaho sa kwarto mahimong parehas nga maapod-apod. Dugang pa, ang higpit nga pagtagad kinahanglan ibayad sa paglimpyo sa trabaho aron makunhuran ang polusyon nga gigikanan sa salog.
5. Induction phenomenon
Ang gitawag nga induction phenomenon nagtumong sa panghitabo nga ang pag-agos sa hangin sa atbang nga direksyon sa uniporme nga pag-agos nahimo, ug ang abug nga nahimo sa kwarto o ang abug sa kasikbit nga kontaminado nga lugar naaghat sa upwind nga bahin, aron ang abug makahugaw sa chip. Ang mosunod mao ang posibleng induction phenomena:
(1). Buta nga plato
Sa usa ka limpyo nga lawak nga adunay bertikal nga unidirectional nga pag-agos, tungod sa mga lutahan sa bungbong, sa kasagaran adunay dagkong buta nga mga palid nga makamugna og kaguliyang sa lokal nga dagan sa pagbalik.
(2). Mga lampara
Ang mga suga sa limpyo nga lawak adunay mas dako nga epekto. Tungod kay ang kainit sa mga fluorescent lamp hinungdan sa pagsaka sa hangin, wala’y gubot nga lugar sa ilawom sa fluorescent lamp. Kasagaran, ang mga lampara sa limpyo nga kwarto gidisenyo sa usa ka porma sa teardrop aron makunhuran ang epekto sa mga lampara sa organisasyon sa airflow.
(3.) Mga kal-ang tali sa mga bungbong
Kung adunay mga kal-ang tali sa mga partisyon nga adunay lainlaing lebel sa kalimpyo o taliwala sa mga partisyon ug kisame, ang abog gikan sa lugar nga adunay ubos nga mga kinahanglanon sa kalimpyo mahimong ibalhin sa kasikbit nga lugar nga adunay taas nga mga kinahanglanon sa kalimpyo.
(4). Distansya tali sa makina ug sa salog o bungbong
Kung ang gintang tali sa makina ug sa salog o bungbong gamay kaayo, kini makapahinabog rebound turbulence. Busa, pagbilin ug kal-ang tali sa mga ekipo ug sa bungbong ug ipataas ang makina aron malikayan nga direkta nga makahikap sa yuta ang makina.
Oras sa pag-post: Peb-05-2025