Ang chip yield rate sa industriya sa paggama sa IC suod nga nalambigit sa gidak-on ug gidaghanon sa mga partikulo sa hangin nga nadeposito sa chip. Ang usa ka maayong organisasyon sa airflow makatangtang sa mga partikulo nga namugna sa tinubdan sa abog gikan sa limpyo nga kwarto aron masiguro ang kalimpyo sa limpyo nga kwarto, buot ipasabot, ang organisasyon sa airflow sa limpyo nga kwarto adunay hinungdanong papel sa yield rate sa produksiyon sa IC. Ang disenyo sa organisasyon sa airflow sa limpyo nga kwarto kinahanglan nga makab-ot ang mosunod nga mga tumong: pagpakunhod o pagwagtang sa eddy current sa flow field aron malikayan ang pagpabilin sa makadaot nga mga partikulo; pagmintinar sa angay nga positive pressure gradient aron malikayan ang cross contamination.
Kusog sa pag-agos sa hangin
Subay sa prinsipyo sa limpyo nga kwarto, ang mga pwersa nga naglihok sa mga partikulo naglakip sa kusog sa masa, kusog sa molekula, atraksyon tali sa mga partikulo, kusog sa pag-agos sa hangin, ug uban pa.
Kusog sa pag-agos sa hangin: nagtumong sa kusog sa pag-agos sa hangin nga gipahinabo sa paghatod, pagbalik sa pag-agos sa hangin, thermal convection airflow, artipisyal nga pagkutaw, ug uban pang mga pag-agos sa hangin nga adunay usa ka piho nga rate sa pag-agos aron madala ang mga partikulo. Alang sa teknikal nga pagkontrol sa palibot sa limpyo nga kwarto, ang kusog sa pag-agos sa hangin mao ang labing hinungdanon nga hinungdan.
Gipakita sa mga eksperimento nga sa paglihok sa hangin, ang mga partikulo mosunod sa paglihok sa hangin sa halos parehas nga tulin. Ang kahimtang sa mga partikulo sa hangin gitino sa distribusyon sa hangin. Ang mga hangin nga makaapekto sa mga partikulo sa sulod sa balay naglakip sa: hangin sa suplay sa hangin (lakip ang panguna nga hangin ug ikaduha nga hangin), hangin sa hangin ug thermal convection airflow nga gipahinabo sa mga tawo nga naglakaw, ug ang hangin sa hangin nga gipahinabo sa operasyon sa proseso ug kagamitan sa industriya. Ang lainlaing mga pamaagi sa suplay sa hangin, mga interface sa tulin, mga operator ug kagamitan sa industriya, ug ang gipahinabo nga mga panghitabo sa limpyo nga mga kwarto tanan mga hinungdan nga nakaapekto sa lebel sa kalimpyo.
Mga hinungdan nga makaapekto sa organisasyon sa pag-agos sa hangin
1. Ang impluwensya sa pamaagi sa suplay sa hangin
(1). Katulin sa suplay sa hangin
Aron masiguro ang parehas nga pag-agos sa hangin, ang gikusgon sa suplay sa hangin kinahanglan nga parehas sa usa ka unidirectional nga limpyo nga kwarto; ang dead zone sa nawong sa suplay sa hangin kinahanglan nga gamay; ug ang pressure drop sa ULPA kinahanglan usab nga parehas.
Uniporme nga gikusgon sa suplay sa hangin: buot ipasabot, ang dili patas nga pag-agos sa hangin gikontrol sulod sa ±20%.
Mas gamay nga dead zone sa ibabaw sa suplay sa hangin: dili lang kinahanglan nga pakunhuran ang plane area sa ULPA frame, apan mas importante, ang modular FFU kinahanglan gamiton aron mapasimple ang redundant frame.
Aron masiguro ang bertikal nga unidirectional nga pag-agos sa hangin, ang pagpili sa pressure drop sa filter importante usab kaayo, nga nagkinahanglan nga ang pressure loss sa filter dili motipas.
(2). Pagtandi tali sa sistema sa FFU ug sistema sa axial flow fan
Ang FFU usa ka air supply unit nga adunay fan ug filter (ULPA). Human masuyop ang hangin sa centrifugal fan sa FFU, ang dynamic pressure mabag-o ngadto sa static pressure sa air duct ug ipagawas nga parehas sa ULPA. Ang air supply pressure sa kisame kay negative pressure, aron walay abog nga mogawas sa clean room kung ilisan ang filter. Gipakita sa mga eksperimento nga ang FFU system mas maayo kay sa axial flow fan system sa termino sa air outlet uniformity, airflow parallelism ug ventilation efficiency index. Kini tungod kay mas maayo ang airflow parallelism sa FFU system. Ang paggamit sa FFU system makahimo sa airflow sa clean room nga mas organisado.
(3). Ang impluwensya sa kaugalingong istruktura sa FFU
Ang FFU kasagaran gilangkoban sa mga bentilador, mga filter, mga aparato sa giya sa hangin ug uban pang mga sangkap. Ang ultra-high efficiency filter nga ULPA mao ang labing hinungdanon nga garantiya kung ang limpyo nga kwarto makab-ot ba ang gikinahanglan nga kalimpyo sa disenyo. Ang materyal sa filter makaapekto usab sa pagkaparehas sa flow field. Kung ang usa ka coarse filter material o usa ka laminar flow plate idugang sa filter outlet, ang outlet flow field dali nga mahimong parehas.
2. Epekto sa lain-laing mga interface sa kalimpyo sa tulin
Sa samang limpyo nga kwarto, taliwala sa lugar nga gitrabahuan ug dili gitrabahuan nga lugar nga adunay bertikal nga unidirectional nga pag-agos, tungod sa kalainan sa katulin sa hangin sa ULPA outlet, usa ka sinagol nga epekto sa vortex ang mamugna sa interface, ug kini nga interface mahimong usa ka turbulent air flow zone nga adunay labi ka taas nga kakusog sa turbulence sa hangin. Ang mga partikulo mahimong mokaylap sa nawong sa kagamitan ug makahugaw sa kagamitan ug mga wafer.
3. Epekto sa mga kawani ug kagamitan
Kon walay sulod ang limpyo nga kwarto, ang mga kinaiya sa pag-agos sa hangin sa kwarto kasagaran makatuman sa mga kinahanglanon sa disenyo. Sa higayon nga ang kagamitan mosulod sa limpyo nga kwarto, ang mga personahe mobalhin ug ang mga produkto ipadala, dili kalikayan nga adunay mga babag sa organisasyon sa pag-agos sa hangin. Pananglitan, sa nagtuybo nga mga kanto o ngilit sa kagamitan, ang gas ibalhin aron maporma ang usa ka turbulent zone, ug ang pluwido sa sona dili dali nga madala sa gas, sa ingon hinungdan sa polusyon. Sa samang higayon, ang nawong sa kagamitan moinit tungod sa padayon nga operasyon, ug ang gradient sa temperatura hinungdan sa usa ka reflow zone duol sa makina, nga makadugang sa pagtapok sa mga partikulo sa reflow zone. Sa samang higayon, ang taas nga temperatura dali nga hinungdan sa pag-ikyas sa mga partikulo. Ang doble nga epekto nagpalala sa kalisud sa pagkontrol sa kinatibuk-ang vertical laminar cleanness. Ang abog gikan sa mga operator sa limpyo nga kwarto dali ra kaayong motapot sa mga wafer niining mga reflow zone.
4. Impluwensya sa balik nga salog sa hangin
Kon lahi ang resistensya sa hangin nga moagi sa salog, mogawas ang kalainan sa presyur, mao nga ang hangin moagos sa direksyon nga gamay ra ang resistensya, ug dili makab-ot ang parehas nga pag-agos sa hangin. Ang kasamtangang popular nga pamaagi sa disenyo mao ang paggamit og taas nga mga salog. Kon ang rate sa pag-abli sa taas nga mga salog kay 10%, ang gikusgon sa pag-agos sa hangin sa gitas-on sa trabaho sa kwarto mahimong parehas nga maapod-apod. Dugang pa, kinahanglan nga hatagan og estrikto nga atensyon ang pagpanglimpyo aron makunhuran ang tinubdan sa polusyon sa salog.
5. Panghitabo sa induksiyon
Ang gitawag nga induction phenomenon nagtumong sa phenomenon diin ang airflow sa atbang nga direksyon sa uniporme nga pag-agos mamugna, ug ang abog nga namugna sa kwarto o ang abog sa kasikbit nga kontaminado nga lugar maaghat ngadto sa upwind side, aron ang abog makahugaw sa chip. Ang mosunod mao ang posibleng mga phenomenon sa induction:
(1). Buta nga plato
Sa usa ka limpyo nga kwarto nga adunay bertikal nga unidirectional nga pag-agos, tungod sa mga lutahan sa dingding, kasagaran adunay dagkong mga blind plate nga makamugna og turbulence sa lokal nga return flow.
(2). Mga lampara
Ang mga suga sa limpyo nga kwarto adunay mas dakong epekto. Tungod kay ang kainit sa mga fluorescent lamp hinungdan sa pagsaka sa agos sa hangin, walay magulong lugar ilalom sa mga fluorescent lamp. Kasagaran, ang mga lampara sa limpyo nga kwarto gidisenyo nga porma og teardrop aron makunhuran ang epekto sa mga lampara sa organisasyon sa agos sa hangin.
(3.) Mga gintang tali sa mga bungbong
Kon adunay mga kal-ang tali sa mga partisyon nga adunay lain-laing lebel sa kalimpyo o tali sa mga partisyon ug kisame, ang abog gikan sa lugar nga ubos ang kinahanglanon sa kalimpyo mahimong mabalhin ngadto sa kasikbit nga lugar nga taas ang kinahanglanon sa kalimpyo.
(4). Distansya tali sa makina ug sa salog o bungbong
Kon gamay ra kaayo ang gintang tali sa makina ug sa salog o bungbong, kini makapahinabog rebound turbulence. Busa, pagbilin ug gintang tali sa kagamitan ug sa bungbong ug ipataas ang makina aron malikayan nga direktang makahikap sa yuta ang makina.
Oras sa pag-post: Pebrero 05, 2025