TEMPERATURE UG AIR PRESSURE CONTROL SA LIMPYO NGA KWARTO

Ang pagpanalipod sa kalikopan gihatagan ug dugang nga pagtagad, labi na sa pagtaas sa panahon sa haze. Ang engineering sa limpyo nga kwarto usa sa mga lakang sa pagpanalipod sa kalikopan. Giunsa paggamit ang engineering sa limpyo nga kwarto aron makahimo usa ka maayong trabaho sa pagpanalipod sa kalikopan? Atong hisgotan ang bahin sa kontrol sa clean room engineering.

Pagkontrol sa temperatura ug humidity sa limpyo nga kwarto

Ang temperatura ug humidity sa mga limpyo nga mga luna nag-una nga gitino base sa mga kinahanglanon sa proseso, apan kung makatagbo sa mga kinahanglanon sa proseso, ang kahupayan sa tawo kinahanglan nga tagdon. Sa pag-uswag sa mga kinahanglanon sa kalimpyo sa hangin, adunay us aka us aka us aka mas estrikto nga mga kinahanglanon alang sa temperatura ug humidity sa proseso.

Ingon usa ka kinatibuk-ang prinsipyo, tungod sa nagkadako nga katukma sa pagproseso, ang mga kinahanglanon alang sa sakup sa pagbag-o sa temperatura nahimong gamay ug gamay. Pananglitan, sa lithography ug proseso sa pagkaladlad sa dako-dako nga integrated circuit production, ang kalainan sa thermal expansion coefficient tali sa bildo ug silicon nga mga wafer nga gigamit isip mga materyales sa maskara nagkagamay.

Ang usa ka silicon wafer nga adunay diyametro nga 100 μm hinungdan sa usa ka linear nga pagpalapad sa 0.24 μm kung ang temperatura mosaka sa 1 degree. Busa, ang usa ka kanunay nga temperatura sa ± 0.1 ℃ gikinahanglan, ug ang humidity bili sa kasagaran ubos tungod kay human sa singot, ang produkto kontaminado, ilabi na sa semiconductor workshops nga nahadlok sa sodium. Kini nga matang sa workshop kinahanglan dili molapas sa 25 ℃.

Ang sobra nga humidity hinungdan sa daghang mga problema. Kung ang paryente nga humidity molapas sa 55%, ang condensation maporma sa makapabugnaw nga dingding sa tubo sa tubig. Kung kini mahitabo sa tukma nga mga himan o sirkito, kini mahimong hinungdan sa lainlaing mga aksidente. Kung ang relatibong humidity kay 50%, dali kining tayaon. Dugang pa, sa diha nga ang humidity taas kaayo, ang abug nga nagsunod sa ibabaw sa silicon wafer mahimong chemically adsorbed sa ibabaw pinaagi sa tubig molekula sa hangin, nga mao ang lisud nga sa pagtangtang.

Kon mas taas ang paryente nga humidity, mas lisud ang pagtangtang sa adhesion. Bisan pa, kung ang relatibong humidity ubos sa 30%, ang mga partikulo dali usab nga ma-adsorb sa ibabaw tungod sa aksyon sa electrostatic force, ug daghang mga aparato nga semiconductor ang dali nga maguba. Ang labing kamalaumon nga range sa temperatura alang sa paghimo sa silicon wafer mao ang 35-45%.

Presyon sa hanginkontrolsa limpyo nga kwarto 

Alang sa kadaghanan nga limpyo nga mga luna, aron mapugngan ang pag-atake sa gawas nga polusyon, gikinahanglan nga ipadayon ang internal nga presyur (static pressure) nga mas taas kaysa external pressure (static pressure). Ang pagmentinar sa kalainan sa presyur sa kasagaran kinahanglang mosunod sa mosunod nga mga prinsipyo:

1. Ang presyur sa limpyo nga mga luna kinahanglan nga mas taas kaysa sa dili limpyo nga mga luna.

2. Ang presyur sa mga luna nga adunay taas nga lebel sa kalimpyo kinahanglan nga mas taas kaysa sa kasikbit nga mga luna nga adunay ubos nga lebel sa kalimpyo.

3. Ang mga pultahan tali sa limpyo nga mga lawak kinahanglan nga ablihan ngadto sa mga lawak nga adunay taas nga lebel sa kalimpyo.

Ang pagpadayon sa kalainan sa presyur nagdepende sa gidaghanon sa presko nga hangin, nga kinahanglan nga mabayran ang pagtulo sa hangin gikan sa gintang sa ilawom sa kini nga kalainan sa presyur. Mao nga ang pisikal nga kahulugan sa kalainan sa presyur mao ang pagbatok sa pagtulo (o paglusot) nga pag-agos sa hangin pinaagi sa lainlaing mga kal-ang sa limpyo nga kwarto.